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簡(jiǎn)要描述：全新外觀設(shè)計(jì)，適配實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)操作*進(jìn)的設(shè)計(jì)理念，模塊化設(shè)計(jì)可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制 可實(shí)現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制配載精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，提高實(shí)驗(yàn)精度及重復(fù)性
所在城市：無(wú)錫市 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新日期：2024-10-16訪 問(wèn) 量：4280產(chǎn)品分類
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| 品牌 | LEBO/雷博 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子 |
產(chǎn)品特點(diǎn)
全新外觀設(shè)計(jì)，適配實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)操作
*進(jìn)的設(shè)計(jì)理念，模塊化設(shè)計(jì)
可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷
支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制
可實(shí)現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制
配載精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，提高實(shí)驗(yàn)精度及重復(fù)性
產(chǎn)品參數(shù)
轉(zhuǎn)速范圍：20-10000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm
加速度可調(diào)范圍：20-50000rpm/s
單步時(shí)長(zhǎng)：3000s
時(shí)間分辨率：0.1s
適用基片尺寸：4/6/8寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓，非標(biāo)準(zhǔn)基片可定制載物盤
顯影噴嘴距離基片高度可調(diào)，可調(diào)范圍10-50mm
可添加背洗功能（根據(jù)客戶需求而定）
產(chǎn)品咨詢
聯(lián)系人：陸燕
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